Applicationsポリイミドの応用可能性
多様なコーティング方法への対応
Episode04
液状素材のメリットを活かして半導体ウエハの均一なコーティングを実現。
基板の大型化や塗布面の複雑化といったウエハ用途以外のさまざまな用途へ最適なソリューションを提供します。
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半導体ウエハの均一なコーティングを実現
私たちが扱っているのは、高純度の液状ポリイミド前駆体。液状であることのメリットを活かし、工程に高い精度が求められる半導体ウエハの加工プロセスでは「スピンコート」が主に行われてきました。
高純度の液状ポリイミドを高速で回転させることで、円形の半導体ウエハに均一なコーティングを行えます。
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これまでの知見を基に、最適な方法を模索
電子デバイスの生産プロセスや半導体開発の最前線では、基板の大型化や塗布面の複雑化といったウエハ用途以外にも対応できる「スリットコート」や「スプレーコート」など、さまざまな塗布方法が考案されています。
私たちはスピンコート技術の追求はもちろん、スリットコートでのプロセス実施やスプレーコートの知見を有し、最適な方法を研究・模索しています。
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専業メーカーの強みを活かしたソリューション
私たちの強みは、豊富な製品ポートフォリオと専業メーカーとしての技術力を有することです。求められる多様な用途に対し、歩留まり向上や信頼性を担保する製品を最適な膜形成方法とともに提案することによって、周辺材料やプロセスへの親和性の高いソリューション提供が行えます。
電子デバイスの生産プロセスや半導体のさらなる進化を支えるため、今後もポリイミド専業メーカーの強みを活かした的確かつ多彩なソリューションの提案を行っていきます。
